化学气相沉积的化学反应有哪些特点

一、化学气相沉积的化学反应有哪些特点

1)在中温或高温下，通过气态的初始化合物之间的气相化学反应而形成固体物质沉积在基体上。2)可以在常压或者真空条件下(负压“进行沉积、通常真空沉积膜层质量较好)。3)采用等离子和激光辅助技术可以显著地促进化学反应，使沉积可在较低的温度下进行。4)涂层的化学成分可以随气相组成的改变而变化，从而获得梯度沉积物或者得到混合镀层。5)可以控制涂层的密度和涂层纯度。6)绕镀件好。可在复杂形状的基体上以及颗粒材料上镀膜。适合涂覆各种复杂形状的工件。由于它的绕镀性能好，所以可涂覆带有槽、沟、孔，甚至是盲孔的工件。7)沉积层通常具有柱状晶体结构，不耐弯曲，但可通过各种技术对化学反应进行气相扰动，以改善其结构。8)可以通过各种反应形成多种金属、合金、陶瓷和化合物涂层。

二、化学气相沉积和热蒸发法的区别是什么？

这个问题也困扰我好久了！谢谢了！“热蒸发法是物理气相沉积，前体就是ZnO。CVD的前体一般是锌粉，在气流中有氧气反应生成ZnO，有时可能还用点催化剂，所以叫做化学气相沉积。我理解有这点差别 ” 查看原帖>>

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三、外延法和化学气相沉积的区别

气相沉积可以用外延法和内插法

四、物理气相沉积法与化学气相沉积法有何区别

物理气相沉积法可以看作是物理过程，实现物质的转移，最终沉积到靶材上面。

化学气相沉积法是在一定条件下通过化学反应，形成所需物质沉积在靶材或者基材表面。

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